高效過濾器對制藥企業來說檢漏是非常嚴格的，系統安裝后做現場檢漏，主要是檢查過濾器濾材中的小針孔和其他損壞，如框架密封、墊圈密封以及過濾器構架上的漏縫等。檢漏的目的是通過檢查高效過濾器及其與安裝框架連接部位等處的密封性，及時發現高效過濾器本身及安裝中存在的缺陷，采取相應的補救措施，保證區域的潔凈度。
高效空氣過濾器泄漏測試基本上是把微粒施放在高效空氣過濾器上游，然后在高效空氣過濾器表面與邊框用微粒探測儀器搜尋有無泄漏。
使用氣膠產生器在上游施放微粒，將PAO打入高效空氣過濾器上游，微粒濃度是大約每公升空氣含有10到20微克的PAO。微粒愈多愈容易找出泄漏，但是超過50微克以后差別不大，少于10則很難使用。微粒濃度可用風量粗略計算，再用氣膠光度計確認。
上游微粒濃度確認后，就可以在高效空氣過濾器表面掃描，尋找泄漏，必要時高效空氣過濾器四周可用塑料簾覆蓋以確保測試之準確。
在高效空氣過濾器表面掃描，掃描之路徑可由外而內或沿長/短邊迂回檢測，其方式如下：??
1.每一高效空氣過濾器和其邊框均需測試。? ?
2.高效空氣過濾器之表面時，將探漏器擺設如圖 (b)，用短邊方向前進， 覆蓋全高效空氣過濾器。?
3.掃描高效空氣過濾器邊框時，尤其高效空氣過濾器與Ceiling Grid之間，涵蓋全部接縫。? ?
4.利用微粒計數器之方錐形(10mm*60mm)采樣器置于高效空氣過濾器下 25mm左右，以50mm/sec速度儀動。??
5.氣膠光度計上的讀數是上下游百分比值，因此若是數值大于0.01，即可懷疑為泄漏，可退回約100mm反復再測，如果沒有持續高讀數，則可繼續測試，反之即為有泄漏，需作記錄且日后修補或更換。??
高效空氣過濾器若有破損則應修補或更新，然后重新再測。??
邊框若有泄漏，應重新安裝、調整，直到無泄漏為止。
記錄時必須登記掃描結果，泄漏狀況與處理方式。? ?
說明：對于HVAC系統中的 HEPA, 為使氣溶膠到達HEPA時 時的濃度均勻，可將氣溶膠直接從系統風機的負壓一側引入，如要從風管中引入，則應在距HEPA至少10倍風管直徑處引入，并盡量減少拐彎。一般情況下，保持上游氣溶膠達到要求濃度，且濃度波動在一定范圍即可。對于層流罩、超凈臺上的HEPA，氣溶膠直接從系統風機的負壓一側引入。?
